ASML首臺全新極紫外光刻機(jī)已完成交付

2021-07-22 12:20:02

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供稿：網(wǎng)友

7月21日消息荷蘭光刻機(jī)設(shè)備生產(chǎn)商阿斯麥（ASML）今日公布了 2021 年第二季度財(cái)報(bào)。

財(cái)報(bào)顯示，阿斯麥公司第二季度凈銷售額 40 億歐元，毛利率 50.9%，凈收入 10 億歐元。此外，ASML 預(yù)計(jì) 2021 年第三季度的凈銷售額在 52 億至 54 億歐元之間，毛利率在 51% 至 52% 之間。

阿斯麥表示，其第二季度的凈預(yù)訂額為 83 億歐元，其中 49 億歐元來自 EUV 系統(tǒng)，使總積壓訂單達(dá)到 175 億歐元。

在其財(cái)報(bào)中還透露了一段重大信息，ASML 第一臺 TWINSCAN NXE:3600D 系統(tǒng)已交付給客戶。與 TWINSCAN NXE:3400C 相比，該系統(tǒng)提高了 15% 到 20% 的生產(chǎn)力，并提高了約 30% 的覆蓋率（套刻精度）。

ASML 表示他們正努力增加 EUV 在存儲產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用，并將計(jì)劃協(xié)助三個 DRAM 客戶實(shí)現(xiàn)在未來的制程節(jié)點(diǎn)中導(dǎo)入 EUV。

在其 DUV 業(yè)務(wù)中，TWINSCAN NXT:2000i（一種 ArFi 浸入式系統(tǒng)）創(chuàng)下了單日在客戶處曝光 6,300 多片晶圓的記錄。

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